台湾新闻报导闹“乌龙”：上海微电子“被出货”46台28nm光刻机

12月初6日消息，台中《经济日报》和合组新闻网昨日同时发布媒体报道指为，11月初26日在沈阳年末投入生产的中国制造母公司首座填充级内部测试二厂，仿效多达46台南京工程该系统设计投入生产的28nm电子束机，并同时指为这意味着大陆投入生产的电子束机充分利用从90nm到28nm的跨越。

然而，这两家台中传媒的媒体报道足见“乌龙”。虽然今年7月初，中国制造与沈阳国资股份有限公司分设的自旋元件内部测试单项，确实仿效了南京工程该系统设计的电子束机，但实际上只是广泛该系统设计IC后道投入生产的“填充电子束机”，并不是大家通常观念除此以外的广泛该系统设计IC前道投入生产的“电子束机”。

根据南京工程该系统设计官网资料揭示，其主要投入生产 SSX600 和 SSX500 两个前传的电子束机。其中，SSX600 前传RC扫描球面电子束机引入四倍较小倍率的球面目镜、材料增量降调焦降调直该系统设计，以及高速高精的自减振六自由度螺丝台掩模台该系统设计，可意味着 IC 前道投入生产 90nm、110nm、280nm 极为重要层和非极为重要层的电子束材料生产力，该设备可用以 8吋支线或 12 吋支线的大规模轻工业。

SSB500前传RC球面电子束机主要广泛该系统设计200mm/300mm集成电路先进填充各个领域，还包括Flip Chip、Fan-In WLP、Fan-Out WLP和2.5D/3D等先进填充表达方式，可意味着Bumping、RDL和TSV等制程的填充级电子束材料生产力。

显然，中国制造在沈阳的自旋元件内部测试单项应运而生的“电子束机”，并不是什么“28nm电子束机”，因为现阶段性南京工程该系统设计量产的最先进的仍是只能用以90nm约的闪存的投入生产。而且在此前国内很多传媒的媒体报道除此以外都有明确指出，中国制造在沈阳的自旋元件内部测试单项应运而生的是南京工程该系统设计的“填充电子束机”。

传统的填充操作过程用勉强电子束机，只有填充级的先进填充才会加到电子束机。相对于IC投入生产用电子束机，填充所用电子束机的研发可玩性要小很多，消费市场室内空间也格外小，但后发的电子束机供应商可以先在填充各个领域进行积攒。

根据此前资料揭示，11月初26日上午，中国制造自旋元件高性能内部测试单项投入生产婚礼在沈阳内陆地区新区主办。伴随着首条填充级填充测试投入生产支线好不容易启动，单项年末转回投入生产运营阶段性。

中国制造坚称，该单项是中国制造科技母公司首座填充级内部测试二厂，通过导入全自动立体化搬运、智慧立体化投入生产与自旋分析等高性能该系统，汇聚同业前沿的工业4.0 智能型无人立体化灯塔工二厂，预计达产后月初内部测试填充晶片约3 万片。

据了解，中国制造沈阳高性能自旋元件内部测试二厂房地产 600 亿，是中国制造旗下自旋元件高性能内部测试单项，将利用扇出型填充和填充键合堆叠填充该系统设计，业务主要面向现阶段性生产力量快速增长的 5G 通信、人工智能等该系统设计闪存。该单项于2020 年4 月初年末签约、7 月初全线贯通规划设计、12 月初主体试运营，从全线贯通到量产仅用时18 个月初，创造从业人员建二厂新速度。

总编辑：芯智讯-林子